真空泵系統熱處理的注意事項 1．真空爐處置鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反響，構成金黃色的氮化鈦。 2．真空爐活動銜接局部全部采用O型橡膠圈密封銜接，此局部均通水冷卻。 3．工件在真空狀態下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。 4．真空爐的頤養應在真空或充純氮狀態下，防止平常不用時吸氣，吸潮。 5．國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h ，國外某些企業的規范為0.67Pa/h 6．真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該堅持間距。 7．升溫過程中，工件及爐內資料會放氣，使真空度降落。 8．真空回火、真空退火、真空固溶處置及真空時效的加熱溫度普通與常規處置時加熱溫度相同。 9．真空回火爐應該具有快冷安裝。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。 10．冷卻氣體：鋼普通采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。 11．升溫：放入工件后，普通先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。